Chroma 7505-K007薄膜厚度自動光學檢測系統主要整合3D光學探頭,進行非破壞性、快速表面厚度量測與分析,適用于Roll To Roll印刷制程、Thin film等薄膜制程厚度檢測。同時配備陶瓷吸附平臺,可將待測物吸附于平臺上使表面平整,亦不對待測物造成皺褶或破損,3D厚度量測范圍大、設備靜態重復精度高與設備動態重復精度高,具備Recipe功能可進行自動量測,此外系統亦提供檢測數據數據的存盤功能,供后續操作人員處理分析使用。
Chroma 7505-K007薄膜厚度自動光學檢測系統主要整合3D光學探頭,進行非破壞性、快速表面厚度量測與分析,適用于Roll To Roll印刷制程、Thin film等薄膜制程厚度檢測。同時配備陶瓷吸附平臺,可將待測物吸附于平臺上使表面平整,亦不對待測物造成皺褶或破損,3D厚度量測范圍大、設備靜態重復精度高與設備動態重復精度高,具備Recipe功能可進行自動量測,此外系統亦提供檢測數據數據的存盤功能,供后續操作人員處理分析使用。